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  • PEALD 参考价：面议

    双腔室高真空等离子体PEALD系统是对ALD技术的扩展，通过等离子体的引入，产生大量活性自由基，增强了前驱体物质的反应活性，从而拓展了ALD对前驱源的选择范围和...
    型号： 厂商性质：生产商所在地：厦门市 对比
    真空等离子体等离子体ALD系统ALD系统双腔型等离子系统
    2024/5/8 14:35:371232
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