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极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
产品简介
详细介绍
高低温真空探针台产品简介：
UOTEST DCH-196 探针台是我司自主研发的一款在高低温环境下给样品加载电学信号的设备。可以在真空的环境中提供 -196 度的极低温度，在特殊材料，半导体器件等方向具有广泛运用。
产品优势：
防辐射屏和热沉设计
液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共 同控制温度
降温速度快，常温降至 77k<25mins，大大提高测试效率
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
高低温真空探针台详细参数：
产品类型 | 低温开循环 | 低温闭循环 | |
型号 | DCH-196 | DCH-4 | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 约100kg | 约150kg | |
电力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔体 | 腔体尺寸 | 8英寸，带4英寸高红外透射率观察窗 | |
样品台尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
样品固定方式 | 真空导热硅脂/弹簧压片 | ||
真空度 | 10^-4pa最高真空 | ||
接口形式 | 电信接口，真空接口，光纤接口，冷源接口等 | ||
其它 | 带防辐射屏和热沉设计 | ||
温控系统 | 制冷方式 | 液氮 | 压缩机 |
温控范围 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
温控精度 | ± 0.1度 | ||
温度稳定性 | ± 0.1度 | ||
降温速度 | 常温降到77k优于25mins | 常温降到10k优于180mins | |
控制方式 | 液氮自动流量控制 | 压缩机控制 | |
光学系统 | 显微镜类型 | 体式/单筒/金相显微镜 | 体式/单筒显微镜 |
移动范围 | 水平360度旋转，Z轴50.8mm调焦/定制其它 | ||
真空腔观察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | ||
探针臂 | 探针臂数量 | 最多6个 | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
点针精度 | 10微米/2微米 | ||
漏电精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三轴/SMA/K/光纤接口 | ||
探针 | 频率范围 | DC-67G | |
探针直接 | 1um/2um/5um/10um/20um可选 | ||
材质 | 钨钢，铍铜 | ||
真空系统 | 机械泵/分子泵组/离子泵 | ||
可选附件 | 防震桌，镀金卡盘，气敏测试组件等 | ||
应用方向 | 高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等 | ||
产品特点 | 防辐射屏和热沉设计 | ||
液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度 | |||
降温速度快，常温降至77k<25mins，大大提高测试效率 | |||
优测国芯电子科技（深圳）有限公司是一家致力于提供半导体和自动化设备综合解决方案的自主创新型技术企业。我们集研发、生产、销售和服务于一体，不仅拥有*的生产设备、加工工艺及品质检测体系，也拥有涉及材料、物理、化学、微电子、机械等专业的技术团队。现在主营的产品有：4寸、6寸、8寸、12寸手动探针台、高压大功率探针台、真空高低温探针台，半自动探针台，全自动探针台等，可以完成I-V/C-V测试，脉冲I-V测试，RF/mmW测试，高压、大电流测试，MEMS、光电器件等测试。专业的设计人员也可以按客户的要求量身定制，如搭配光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统、太阳能发生器、多普勒测试仪、积分球等，在常规探针台功能上进行延伸拓展来满足不同客户的测试需求。
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