磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-R系列 返回列表页

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OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-R系列

磁悬浮复合分子泵具备了磁悬浮复合分子泵(控制器・电源一体型)TGkine-B系列优秀的产品性能，本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能，即使在维修期间更换控制器，也能够传输数据。

OSAKA大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine-R系列产品型号：

TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

产品特点：

■ 省电设计      
■ 在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。  
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。      
■ 支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）      
■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2

使用场合：

■ 半导体制造设备
■ FPD制造设备
■ 太阳能电池制造设备
■ 玻璃/镜片等光学部件加工
■ 镀膜工艺
■ 加速器/宇宙环境模拟器

技术参数：

型号※1

TGkine3300M-R

TGkine3400M-R

吸气口法兰

VG300 / ISO-B320

VG350

排气口法兰※2

KF40 / KF50

排気速度

N2 (L/s)

3300

N(付带金属保护网) (L/s)

3100

H2 (L/s)

2700

最大压缩比

N2

>1×108

H2

3×103

最大气体流量※3、※4

N2 (sccm)

2600

Ar (sccm)

1900

起动时间

(min)

≦11

停止时间

(min)

≦13

到达压力※5

(Pa）

<2×10-7

(Torr）

<1.5×10-9

最大排气口压力※6

(Pa)

110

(Torr）

0.82

推荐前级泵

(L/min)

≧2000

安装方向

任意

质量

(kg)

64 / 65

67