目录:沈阳科晶自动化设备有限公司>>清洗设备>>紫外臭氧清洗>> PCE-22紫外臭氧清洗机
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 综合 |
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PCE-22紫外臭氧清洗机是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM &TEM，紫外对聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。
1、仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;
2、温度范围：5-40℃;
3、最大相对湿度80％，最高30.5℃，40℃线性降至50％相对湿度;
4、主电源波动不超过额定电压的10％;
5、污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb。
6、去除分子级别的污染物
7、紫外光固化粘合剂
8、紫外光催化
9、氧化PDMS
10、表面消毒
11、刻蚀
12、清洗MEMS 器件
13、清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片
产品名称 | PCE-22紫外臭氧清洗机 | |
产品型号 | PCE-22 | |
主要参数 | 1、功率：最大350W | |
腔体&样品台 |
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排气口 |
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紫外灯 |
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产品规格 | 1、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) | |
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