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| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 化工,能源 |
产品简介
详细介绍
INHA-气体质量流量控制器-模拟经济型介绍：
| 紧凑型流量控制器MF-100C | ||||
| »三维尺寸图 | ||||
| riTfmn | ||||
| Mass Flow Controller | ||||
| and Meter | ||||
| MF 100Series | ||||
| »特征 | ||||
| -响应速里快 | ||||
| -准确度咼 | ||||
| -稳定的流量控制 | ||||
| -宽压力范围 | ||||
| -优良的耐腐蚀性 | ||||
| -出色的线性度 | ||||
| QI | ||||
| —( | ||||
| t | ||||
| — | ||||
| 60 | ||||
| • Sccm,Slm表示标准气体流量(20°C 101.3Kpa) | ||||
| »戸品规格 | ||||
| INHA-气体质量流量控制器-模拟经济型 | ||||
| 型号 | MF-100C | |||
| 流量规格（N2 ） | 10SCCM-30SLM | |||
| 控制量程 | 2%~100%of FullScale | |||
| 准确度 | <±1.0% of Full Scale (20,30SLM : <±1.5 Full Scale ) | |||
| 线性精度 | <±0.5% of Full Scale | |||
| 重复精度 | <±0.2% of Full Scale | |||
| 响应时间 | <2sec | |||
| 正常工作温度范围 | 0~50°C(Accuracy Guaranteed : 15~35°C) | |||
| 正常工作压力范围 | 0~50 Bar(g) | |||
| 漏率 | 1x10-9 atm. cc/sec He | |||
| 电源 | + 15Vdc or 24Vdc/300mA | |||
| 信号类型 | 0-5V or4-20mA | |||
| 密封类型 | Viton/Buna/Kalrez/Teflon/Epdm | |||
| 控制类型 | Normally Closed Solenoid | |||
| 连接器类型 | D-Sub 9 Pin Connector Male | |||
| 气路接口类型 | 1/4,1/8" , 3/8"LOK 1/4VCR | |||
| 接口类型 | Analog Type | |||
| 材质 | SUS 316L | |||
| 预热时间 | 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min) | |||
| »电气连接 | ||||
| 单位：mm | ||||
| "X"尺寸规格 | ||||
| 接口规格 | mm | |||
| 1/8HLok | 116.7 | |||
| 1/4HLok | 121.3 | |||
| 3/8"Lok | ||||
| 124.4 | ||||
| 1/4"VCR | ||||
| 117.8 | ||||
| Mass Flow Controller | ||||
| and Meter | ||||
| MF 1OOSer ies | ||||
| FLOW | ||||
| 气体质量流量控制器 MF-100C（电压型） | 气体质量流量控制器 MF-100C（电流型） | |||
| D型9针连接器 | （公） | |||
| 电气连接方式 | 电压型 | 电流型 | ||
| 编号 | 功能 | MF-100C | MF-100C | |
| 1 | 信号公共端 | • | • | |
| 2 | 0~5Vdc信号输出 | • | X | |
| 3 | 阀控 | options | options | |
| 4 | 4~20mA信号输出 | X | • | |
| 5 | 电源 | • | • | |
| 6 | 地 | options | options | |
| 7 | 4~20mA信号输入 | X | • | |
| 8 | 0~5Vdc信号输入 | • | X | |
| 9 | ||||
| 电源公共端 | ||||
| INHA® | ||||
| INHA® | ||||
| MASS FLOW Meter | ||||
| MASS FLOW Meter | ||||
| I | ||||
| z | ||||
| Mass Flow Controller | ||||
| and Meter | ||||
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