杭州拓开诺贸易有限公司

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CV-1000导轮轮廓测量仪

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  • 杭州拓开诺贸易有限公司
  • 180000元(具体成交价以合同协议为准)
  • 2018-03-15 10:33:18
  • 杭州市
  • 日本
  • 3811

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【简单介绍】

导轮轮廓测量仪用于硅片切割导轮的轮廓测量,测量范围50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000。

【详细说明】

导轮轮廓测量仪技术参数:

X
测量范围
50mmCV-1000)或100mm()CV-2000
分辨率
0.2μm
测量方法
反射型光栅尺
驱动速度
0.2mm/s
测量速度
0.02-5mm/s
测量方向
/向后
直线度
3.5μm /50mm
1.5μm/mm(当X轴在水平方向上
指示精度
20
±3.5+2L/100μm
L为驱动长度(mm
倾斜范围
±45°CV-2000
Z1
测量范围
25mmCV-100)或40mmCV-2000
分辨率
0.4μmCV-1000系列)
0.5μmCV-2000系列)
测量方法
弧形编码器
指示精度
20
±3.5+14H/25μm
H为水平位置上的测量高度(mm
探针上下运作
弧形运动
探针方向
向下
测力
10-30mN
跟踪角度
向上
77°
向下
87°
探针针尖
半径
25μm
材料
硬质合金针尖
基座尺寸(H
750x600mmCV-2000
基座材料
花岗岩(CV-2000
重量
主机
5kgCV-10000N2)、115.8kgCV-2000M4)、124kgCV-2000S4
控制装置
14kg 
遥控箱
0.9kg
电源
100-240VAC±10% 50/60Hz
能耗
150W仅限主机

导轮轮廓测量仪性能参数:

型号
CV-1000N2
CV-2000N4
CV-2000S4
X1轴测量范围
50mm
100mm
100mm
Z1轴测量范围
25mm
40mm
40mm
Z2轴测量范围
-
250mm
320mm

    
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