离子溅射仪 产品参数：

1.腔体尺寸：石英玻璃，直径150mm*高度130mm

2.供电规格：AC220V，200w

3.适用靶材：贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pd 常规金属Cu、W、Ag 、Cr 等

4.样品台可调高度：20~50mm

5.样品台尺寸：直径55mm

6.工作真空度：1~10Pa

7.气体路数：单路

8.气体流量：手动调节

9.控制：触屏控制

10.外形尺寸：260mm*410mm*343mm（宽*深*高）

11.溅射电压：MAX 2500V 

12.溅射电流：MAX 30mA 

13.靶材尺寸：直径57mm，厚度0.1~0.5mm

14.重量：10KG

15.真空泵：VRD-8

离子溅射仪 产品简介：

1、人性化设计，仪器操作简单，一键镀膜。

2、仪器小巧，不占空间，适用于实验室、科研院所等。

3、镀膜均匀细密，适用于多种靶材。

4、样品台可以快速调节，方便取放样品。

5、仪器性能可靠，设有多重安全保护机制。