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| 科研 | 探针台 |
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产品简介
详细介绍
位移探针广泛用于光刻器件的高低温光电测试，可用于IV、介电常数、霍尔效应、射频、低温电路等测试。可拓展低温温控和真空管路模块，实现液氦温度测量。
位移探针台的相关参数：
TS600E-OE | |||
制冷方式 | 无 | 正面观察窗口大小 | φ41mm |
温度范围（℃） | -196到600℃ | 探针类型 | 探针后端XYZ轴方向位置可调，位移精度1um，位移范围±6mm |
显示精度（℃） | 0.1 | 探针材质 | 钨钢或铍铜（探针针尖1um） |
控温精度 | 0.1℃ | 探针数量 | 四个（可拓展为6个） |
样品区域 | 30*35mm | 外观尺寸 | 410*410*80mm |
最大加热速率 | 50℃/min | 腔体净重 | 5Kg |
最大冷却速率 | -40℃/min | 备注 | 探针前端水平角度和长度可调 |
显微镜的相关参数：
| 目镜 | 高眼点广角目镜WF20X/10mm |
| 物镜 | 内置连续变倍物镜0.7-4.5倍 |
| 观察头 | 双目观察头，45度倾斜，瞳孔距调节范围0.7-4.5倍 |
| 放大倍率 | 连续变倍7-90X |
| 照明光源 | 可调节亮度LED光源 |
| 工作距离 | 100mm |
| 调节范围 | 立杆高度380mm，升降范围50mm |
图1 TS600E-OE尺寸图 图2 位移探针台样品观测图
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