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| 应用领域 | 医疗卫生,环保,生物产业,农林牧渔 |
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产品简介
详细介绍
YES–G1000手动等离子清洗刻蚀系统对于清洁，剥离和表面改性，等离子体是有毒化学物质的有效替代品，并且在表面上没有残留溶剂。 副产物是惰性的并且对环境安全。 G1000的工作频率为13.56MHz，用户可以从5种等离子模式中进行选择。 各向异性模式包括RIE和有源离子阱； 各向同性模式包括下游（无电子），有源和下游离子阱。
•13.56 MHz的射频等离子体
•手动等离子清洗刻蚀系统低压环境
•下游侵蚀性等离子体
•温度监控器
•3个气体输入
•气体输入可包含更多深奥气
体，例如合成气，CF4和SF6
