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NANYTE BEAM台式无掩模光刻机/
激光光束分析仪是用于测量激光光束直径、形
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新品发布！kSA XRF在线X射线荧光膜厚测量仪

阅读：1986 发布时间：2022/12/28

近期我司推出最新产品，kSA XRF在线X射线荧光膜厚测量仪！对于膜层厚度太薄的金属薄膜和介电薄膜，光学方法测量其厚度显得不是很可靠。kSA XRF在线X射线荧光膜厚测量仪的推出主要就是为了解决该问题，它可以在线测量许多不同材料基底（例如：玻璃和太阳能电池组件）上的薄膜厚度。

设

备

详

情

1.配备保护性定制框架外壳，放置 X 射线源和探测器。

2.该设备桥接了传输线，以便于设备安装和工厂用户对系统的访问。

3.当 X 射线源正在使用时，会有警示灯闪烁提示。

4.配备面板的前/后边缘光电检测器，用于触发设备自动启停。

5.柜式控制器提供数据处理及存储功能。

6.配备小型灯塔用于指示检测情况。

产

品

优

势

1.某些超薄的介电薄膜，光学方法难以测量其厚度，如低于100nm厚度薄膜；在这种情况下，kSA XRF可以很好地测量。

2.可在多种基板上测量金属薄膜厚度。

3.实时数据采集，检测薄膜厚度缺陷并进行在线反馈。

4.软件功能可定制，用户可以依据特定要求设置。

5.检测过程中可对质量控制进行验证，以确保涂层厚度在公差范围内。

6.工厂集成功能：使工厂用户能够将设备整合到现有系统（如：工厂警报、PLC、电子邮件警报等）中。

7.操作便捷，几乎不需要额外设置，只需操作员定期进行设备校准。

工

作

原

理

1.该系统由一个带有高压发生器的 X 射线管和一个 X 射线探测器系统组成。

2.其 X 射线检测系统组合了固态探测器、放大器、脉冲高度分析仪和多通道分析仪。

3.光谱仪能量校准后，系统自动识别 X 射线光谱峰值，并收集峰值强度以进行进一步处理。

4.该工具可根据客户的薄膜配方和测量需求测量对应的原子种类。

软

件

功

能

1.使用专有的 k-Space 软件测量，分析和存储数据。

2.可与现有质量控制系统对接通讯。

3.利用光电检测器的触发器启动和停止数据采集。

4.专为典型的玻璃和太阳能电池板输送速度而设计。

5.全自动化，能够与工厂自动化通信对接。

6.报警信号可便捷的自定义配置。

7.单个检测头可以放置在面板宽度上的任何位置，并且可选配使用多个检测头。

8.厚度测量范围为 0~500 nm±1 nm，灵敏度和测量不确定度取决于被测元素。

软

件

截

图

全新版本Setfos 5.3发布！太阳能电池/O

中科院化学所李永舫&孟磊团队：聚

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