AFM-in-SEM

LiteScop 是一种特殊的原子力显微镜 (AFM)，"即插即用"，专为集成到扫描电子显微镜 (SEMs) 中而设计。

新颖的探针和电子显微镜关联(CPEM) 技术可实现纳米级精确的快速 AFM 和 SEM 数据关联。

• 快速、即插即用地集成到 SEM 中

• 兼容FIB、GIS、EDX等标准 SEM 附件

• 高度可定制

• 也可用作独立的原子力显微镜

关键技术优势

1、复合且相关的样品分析

关键的 CPEM 技术可以同时采集 AFM 和 SEM 通道并将它们无缝关联到 3D图像中。

2、原位样品表征

SEM 内部的原位条件可确保在相同时间、相同地点和相同条件下进行样品分析。

3、精确定位感兴趣区域

极其精确和省时的方法使用 SEM 将 AFM 针尖导航到感兴趣的区域，从而实现快速和轻松的定位。