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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,化工,生物产业,能源,航空航天 |
布鲁克斯仪器的热感测技术可提供的信噪比性能从而提升低设定值条件下的测量和控制精度
产品简介
详细介绍
布鲁克斯腐蚀性气体质量流量计
国内专业的流量计服务商，专业的MFC技术服务商，主营进口品牌气体质量流量控制器，BROOKS，MKP以及和合资高性价比品牌INHA。厂家拿货，*，价格合理。从事流量计行业多年，可以给您更高效和专业的指导和方案设计。
布鲁克斯腐蚀性气体质量流量计
BROOKS流量计 5850S/5851S/5860S/GF125/GF126
流量范围 相当于0－3 sccm到0－30 sccm氮气（N2）的范围
性能：校准后为满量程±1％，大于20slpm时为满量程±1.5％。
可重复性：0.25％ 控制范围：50：1 安装状态灵感度：复零后，比**度误差不到±0.5％量程。
温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度
量程：比*初校准刻度小±1.0％量程（在10－50摄氏度）
压力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)
输出电压：0－5伏直流（200K欧姆的输出电阻）
输出信号：输出0－5伏直流到20欧姆或更高的负荷 输出5±0.1伏直流（参考），**负荷20欧姆
*操作压力：1500psig ;5-50psid压损（**压损根据气体和周围环境具体而定）
温度、外界/气体：41－149oF（5－65oC）
*泄漏，外界：1×10-9cc/s
功率要求：常闭阀（或常开阀/流量≤2.5slpm）
直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常开阀/流量>2.5slpm
直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
构造材质：
标准接液部分采用不锈钢材质，可供选择的还有;Kalrez或Buna-N
连接：
硬件连接：标准9/16－18UNF不锈钢压力接头(Swagelok)，可选：VCO或VCR
电气连接：卡连接器
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