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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 环保,化工,生物产业,能源,航空航天 |
作为一家在气体准确测量与控制方面的企业，布鲁克斯仪器数十年来不断坚持创新热质量流量技术，推出新产品并不断提升现有系统性能以突破现有热质量流量技术在准确性、响应速度、精度和重现性方面的限制。
产品简介
详细介绍
美国布鲁克斯质量流量计
为真正实现对每个过程的控制，用户必须准确测量进行中的过程 — 范围涉及馈线、仓室等每一处 — 然后利用所得到的实时信息确过程准确按照目标执行并达到目标产率。
作为一家在气体准确测量与控制方面的企业，布鲁克斯仪器数十年来不断坚持创新热质量流量技术，推出新产品并不断提升现有系统性能以突破现有热质量流量技术在准确性、响应速度、精度和重现性方面的限制。
美国布鲁克斯质量流量计
布鲁克斯质量流量设备在球得到广泛应用的关键原因：
- 拥有业内种类齐全的产品系列可满足各种应用需求
- 创新型 MultiFlo™ 技术可使一台设备完成气体类型和量程的切换工作并且无需从系统中拆除设备，同时还能够提升过程气体的测量准确性
- 产品范围全面，包括弹性体密封和金属密封选件
- 超高纯度设备，专为满足薄膜、半导体以及其他高科技行业需求而设计
关键应用
- 热处理、切割等其他热过程
- 半导体和 LED 生产工具
- 薄膜淀积系统
- 用于生物制药的生物反应器
- 石化和化工气体和液体试验工厂
- 吹扫气体、过程分析和分析用流量测定
- 宽的流量和压力适用范围
- 长期稳定性保障设备使用价值
- 包括经认证适用于危险区域的产品
- 可清洗/冲洗的设备外壳
流体类型
流量范围-满量程容量3 sccm - 2500 lpm
精度± 0.6% of SP
上限压力4500 psig
温度65oC
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