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ALD20 UHP 阀门是世伟洛克 ALD 产品系列的新成员。正在申请利的设计允许利用具有挑战性的低蒸汽压前体。ALD20 采用超高纯波纹管，因此与其他 ALD 阀相比，可促进清洁操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 阀可以*热浸在气箱中，并可以从 50°F （10°C） 加热到 392°F （200°C）。
产品简介
详细介绍
世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀
ALD20 UHP 阀门是世伟洛克 ALD 产品系列的新成员。正在申请利的设计允许利用具有挑战性的低蒸汽压前体。ALD20 采用超高纯波纹管，因此与其他 ALD 阀相比，可促进清洁操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 阀可以*热浸在气箱中，并可以从 50°F (10°C) 加热到 392°F (200°C)。
规格
工作压力 真空 20 psig (1.4 bar)
爆裂压力 >3200 psig (220 bar)
执行压力 70 90 psig（4.8 6.2 bar）
温度 50° 392°F（10° 200°C）
流量系数 (Cv) 1.2 (MSM) 或 1.7（直通型）
阀体材料 316L VIM-VAR 或合金 22
波纹管材料 合金 22（5 μin.Ra 表面粗糙度）
端接
世伟洛克VAR ALD原子沉积隔膜阀
类型（尺寸） 内螺纹 VCR 接头 (1/2 in.)
可旋转外螺纹 VCR 接头 (1/2 in.)
卡套管对焊，长 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.)
模块化表面安装高流量 C 型密封 (1.5 in.)
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