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| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 节流式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 医疗卫生,环保,化工,生物产业,能源 |
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。
产品简介
详细介绍
七星华创气体质量流量计CS系列
CS300气体质量流量控制器是七星流量计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。
优势
• 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间下限快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• g端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
七星华创气体质量流量计CS系列汽车电子
在汽车装饰镀膜、汽车喷涂、零部件制造中会对气体进行j准控制，SEVENSTAR提供的产品可以满足汽车工艺中对气体使用的严格要求。
石油化工
SEVENSTAR提供耐高压、大量程的产品在石油冶炼、催化裂解等工艺中使用，可满足石化行业特殊环境的工作要求。