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详细介绍
主要特点
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详细说明
AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL系BASF生产的高精度蓝宝石光管高温计，被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD机台底部的测温系统(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。
AIXTRON机台测温仪EX-C-7FL包含EI110传感器，光纤，蓝宝石光管，IFD5数字模块，IFA5模拟模块，配套线缆等，测温范围覆盖100-1800℃，精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。
BASF Exactus®系列测温仪已广泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉积等半导体工艺，并被集成在多家MOCVD设备以及其他RTP设备上如：AIXTRON， LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的测温精度和稳定性，也被一些高温黑体炉厂家作为温度标准器使用，如Thermogauge公司。
典型应用
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技术参数
| 测量参数 | |
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| 温度范围: | 100 – 1800℃ |
| 工作波长: | 1550nm |
| 测量精度: | 优于1.5℃ 或 0.15%测值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重复精度: | 0.1℃ |
| 温度漂移: | 最大 0.10℃/年 环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度 |
| 镜头: | 蓝宝石光管 |
| 物理参数 | |
|---|---|
| 供电: | 12-28 VDC, 3W |
| 存储温度: | -20 to 70℃ |
| 环境温度: | 电子器件: 0 - 60℃ |
| 外壳材质: | 传感器和镜头外壳，304 不锈钢/铝； 气吹外壳，铝； 恶劣环境专用镜头: 304 不锈钢； |
| 重量: | 标准高温计，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纤传感器，0.198 kg (7 oz.) |
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