外延片测温仪

Photrix 外延片测温仪详细说明

PhotriX 系列高精度红外测温仪具有业界优异的信噪比，可测量更低的温度，更小的目标，可采用更快的响应时间 (1 ms). 

当选择一款红外测温仪时，其中一个重要的因素是要考虑用于测量的波长。红外测温的物理特性决定了测量波长越短，测量精度越高。没有仪器可以违反这个原则.

利用短波和窄带波长， Photrix系列测温仪将红外测温的精度提升到了一个极限高度。相较波长8－14μm的精度，0.9 μm（ 900nm ）测温精度提升了一个数量级。不仅如此，Photrix系列的信噪比*，因而相对于同样短波的其它产品,可以测量低温至30℃的物体。

此外，Photrix还提供了环境温度补偿，以消除温度漂移,进而在长周期循环工艺过程中保证了其*的稳定性和复现性。 

标准的PhotriX系统包括带有防反射镀膜透镜的传感器电子设备，通信接口模块（CIM），RS-232接口电缆，通用电源以及TemperaSure™数据采集和图形接口软件。

固定镜头型配置有5种波长可选，具有如下特点:?

低温测试能力 (详见下表)

• 测温下限75 °C ，波长 700-1650 nm

• 测温下限125 °C ，波长 1550 nm

• 测温下限270 °C  ，波长 900 nme

• 测温下限280 °C  ，波长 880 nm

• 可测量小至0.5 mm的目标 (定义为 99% 的能量)

• 快速响应 (1 ms)

• 精度+/- 1.5 °C 或读数的 0.15%

• 重复精度 0.01 °C (see TN-828)

选配件包括模拟模块 ( 4-20 mA 或 0-10V), 带镜头吹扫的保护套, 8通道模块。标准配置已包含所有必要的电缆，电源以及软件和文档。

典型应用

• 低发射率金属

• 铝

• CIGS太阳能薄膜电沉积

• 非晶硅薄膜沉积

• 激光加热工艺

• CZ 晶体生长

• 光纤拉丝

• 感应加热

Photrix 外延片测温仪配置选项