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详细介绍
Sekidenko OR400T 外延片测温仪主要特点
采用光纤镜头或光导管的实时非接触红外测量
完整的I / O和外部触发/同步套件
结构紧凑，易于集成的单通道光纤高温计
提升了低温测试性能
详细说明
传统的热电偶测量会因传热效应而导致温场破坏，进而产生测温误差。OR400T 光纤温度计可在不接触晶圆的情况下直接测量晶圆温度，提高晶圆之间的均匀性并提高温度读数的准确性
OR400T光纤温度计（OFT）提供单通道温度测量功能，支持RS-232和模拟数据接口，每秒高达20个读数。适用于多种大批量半导体生产应用，包括LPCVD，PVD，和金属蚀刻等。
每个OFT系统均由控制器，光学传感器和光纤组成。使用光缆可以使控制器远离RF和其他EMI源进行远程定位。传感器检测目标（通常是基板）辐射的近红外（NIR）光线，然后通过光缆将近红外辐射传输到控制器，控制器将收集到的光转换为温度读数。
典型应用
Epi
PECVD
LPCVD
PVD
MOCVD
技术参数
| 通用参数 | |
配置 | 单通道温度测量 |
温度范围 | 50 至 3500°C |
| 波长 | 600 至 1600 nm |
| 读取速率 | 高达 20 Hz |
| 测温精度 | ±1.5°C |
控制/重复精度 | ±0.1°C |
| 分辨率 | 0.01°C |
| 接口 | |
| 屏幕显示 | 无，可通过RS232设置 |
| 数据 I/O | 高达115 kB的 RS-232 输出 |
| 模拟输出 | 0 至 10 V 或 4 - 20 mA |
| 电参数 | |
输入电压 | AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz DC: +24 VDC |
| 环境参数 | |
| 使用环境 | 15 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露 |
| 物理特性 | |
| 物理尺寸 | 55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D) 2.2" (H) x 1.3" (W) x 7.7" (D) |
| 重量 | 0.73 kg (0.33 lb) |
| 安装 | M3 X 0.5螺纹孔（有关更多信息，请参阅手册） |
| 电源线电流 | 100 VAC时,小于0.7A |
Sekidenko OR400T 外延片测温仪
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