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CVD气源发生器

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更新时间：2025-05-13 10:51:53浏览次数：116次

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产品简介
产地类别 国产 应用领域 环保,化工,综合
CVD气源发生器，设备配备预压料桶、与大气隔离的泵模组、高稳定/耐腐蚀蒸发器以及一体化设计的嵌入式预热器。

详情介绍

         

设备配备预压料桶、与大气隔离的泵模组、高稳定/耐腐蚀蒸发器以及一体化设计的嵌入式预热器。液态前驱体经过蒸发段气化，随后调温输出。输出组分进一步分布或混合，为CVD工艺提供气态原料。前驱体接触的材质均采用耐腐蚀材料。

例

PLC控制系统，Ethernet通讯，与CVD生产线主控系统通讯。


 


 

含锡前驱体  

≤60  

sccm  

含氟前驱体  

≤20  

sccm  

H2O  

≤60  

sccm  

功率  

7.5  

kW  

 

 

 



CVD气源发生器  



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