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| 泵轴位置 | 卧式 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 叶轮数目 | 其他 | 应用领域 | 医疗卫生,食品/农产品,化工,电子/电池,包装/造纸/印刷 |
Edwards爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性
产品简介
详细介绍
Edwards爱德华iH系列晶圆半导体干式真空泵维修保养
Edwards爱德华高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠xing。
iH 系列真空泵为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠xing。
Edwards爱德华iH 系列半导体干式真空泵产品型号：iH80 iH160 iH1000 iH1800
英国爱德华 Edwards半导体 iH80技术参数：
iH1800HTX技术参数：
英国爱德华 Edwards半导体 iH80应用行业：
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
爱德华iH系列晶圆半导体干式真空泵维修保养
英国爱德华 Edwards半导体 iH80产品功能和优势：
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定xing。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。