微分干涉显微镜

  微分干涉显微镜MZL-MX4R

微分干涉显微镜性能特点：

  1）MX4R系列为新型FPD检查显微镜，专为LCD行业/TFT玻璃/COG导电粒子压痕、粒子爆破检查

  2）MX4R系列机型采用4寸、6寸平台设计，可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查

  3）MX4R系列，其微分干涉效果可与进口品牌相媲美

  4）MX4R系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术，多层宽带镀膜技术，采用长寿命LED光源

  5）多种高度功能化的附件，能满足各种检验需要，可用于明场、简易偏光、微分干涉观察

微分干涉显微镜MZL-MX4R标准配置：

放大倍率：50X、100X、200X、500X
 

光学系统：无限远色差正光学系统
 

目镜：高眼点大视野下平场目镜PL10X/22mm
 

物镜：LMPL无限远长工作距离金相物镜(5X-DIC10X-

DIC20X-DIC50X)
 

观察筒：30度倾斜，倒像，无限远铰链式三目观察筒，分光

比双目：三目=50：50或100：0
 

转换器：内倾式五孔转换器，带DIC插槽
 

镜体：粗微调同轴，粗调行程33mm,微调精度0.001mm,带

粗调机构上限位及松紧调节装置，内置100-240V宽电压变

压器，单路电源输出
 

载物台：4寸双层机械移动平台，行程105*105mm;带金属

平板平台，右手位X、Y移动手轮，配平台接口
 

反射照明系统：带可变视场光阑，均可调中心；带滤色片插

槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆。单颗大功率5W
 

LED ,白色，光强连续可调
 

透射照明系统（选配）
 

偏光装置：起偏镜插板，360度旋转式偏镜插板
 

摄像附件：0.5X摄像接筒，C型接口，可调焦
 

选配件：
 

目镜：高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,视度可调，可

带测微尺
         高眼点大视野平场目镜PL15X/16mm
 

物镜：LMPL无限远长工作距金相物镜（100X）
 

观察筒：25度倾斜，正像，无限远铰链式三目观察筒，分光

比双目=50：50或100：0
 

载物台：6寸三层机械移动平台，行程158*158mm，玻璃

工作台，右手位X、Y移动手轮，带离合器手柄，可快速移动
 

摄像接口：0.35X、0.65X、1X摄像接筒，C型接口，可调焦
 

滤色片：反射用干涉滤色片
 

其他：DIC微分干涉组件

   ★可选配6英寸三层机械移动平台，平台面积

445×240mm，行程158×158mm；带快速移动装置；玻璃

载物台板，透反两用平台；

  ★可选配8英寸三层机械移动平台，平台面积

450×310mm，行程200×170mm；带快速移动装置；玻璃

载物台板，透反两用平台；

  ★可选配标准微分干涉（DIC）装置、OLYMPUS微分干

涉（DIC）装置

干涉显微镜实拍效果参考图

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