非接触式轮廓仪Sensofar共聚焦显微镜 返回列表页

Sensofar可集成光学测量系统是我们20多年以来专注于表面测量系统的研发结晶，让高精度和超高速测量得以结合。

非接触式轮廓仪Sensofar共聚焦显微镜

共聚焦

共聚焦轮廓仪的开发目的是，测量从光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦轮廓提供最高的横向分辨率，最高可达0.14μm水平分辨率，空间采样可减少到

0.01μm，这是关键尺寸测量的理想选择。高达NA(0.95)和放大倍率(150X)的物镜可用于测量局部斜率超过70°的光滑表面。对于粗糙表面，最高可允许86°。的共聚焦算法提供了纳米尺度上的垂直重复性。

干涉

PSI相移干涉法可以

用于测量亚埃分辨率的高度光滑和连续表面的高度。可以使用极低的放大率(2.5X)测量具有相同高度分辨率的大视场。

CSI相干扫描干涉法使

用白光扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，达到1nm的高度分辨率。

大部分的生产环境并不十分友好——多变的工况、振动、腐蚀性材料等都使测量任务变得更加困难。Sensofar测量系统良好的密封设计可防止碎屑和颗粒进入以保持清洁，无运动部件的光学设计也使测量系统能够长期稳定工作。

Sensofar可集成光学测量系统的设计理念源于为质量管控和产品质量分析提供可靠的高性能产品。对于尺寸以及表面状态迥异的产品，我们提供具有针对性的解决方案。

S neox满足了灵活多样， 高速，高精度的测量需求，定位为通用的工业检测集成系统。

非接触式轮廓仪Sensofar共聚焦显微镜