真空等离子清洗机

真空等离子清洗机

主要应用 ：

　　1.表面清洁  2.表面活化  3.键合  4.去胶  5.金属还原  6.简单刻蚀  7.去除表面有机物  8.疏水实验   9.镀膜前处理等

　　主要特点：

　　1.实时显示检测样品仓内的真空度

　　2.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用防腐蚀

　　3.采用电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样 品仓内顶部悬挂

　　4.手动，自动两种模式任意切换

　　5.程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验

　　6.控制系统：采用触摸屏+内置计算机控制

　　7.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可

 真空等离子清洗机

　　技术规格 ：

　　1.舱体尺寸： 230X230X230mm,容积：12升

　　2.样品托盘尺寸：205*205MM

　　3.射频频率： 13.56MHz

　　4.射频功率: 300W，10到300W无极可调，精度：1瓦

　　5.电源： ~220V   电流： 1.2A

　　6.时间设定：1秒到99分59秒

　　7.气体稳定时间：1分钟

　　8. 气路设置：内置气体质量控制器(MFC)(气体流量控制 可以选择外置的浮子流量计，这样可以优惠3000元)，双气路

　　9.外形尺寸: 约550mmX550mmX600(高)mm

　　真空泵:抽气速率：8立方米/小时(2.2升/秒)极限真空：0.05Pa功率：400瓦

　　基本配置：主机 +  真空软管+  样品托盘+ 说明书+  电源线+ 真空系统 + 油雾器