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| 应用领域 | 医疗卫生,石油,电子/电池,综合 |
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产品简介
详细介绍
iH1800干式泵维修参数：
iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59040946
技术数据
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO160
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 502 kg
极限功率输入 4.1 kW
电机额定功率 7.0 kW
油容量 1.6 l
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
iH1800干式泵维修应用：
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
东莞市上善真空设备有限公司专业维修干泵，半导体干泵，干泵，爱发科干泵，汉钟干泵，卡西雅玛干泵等干泵维修
东莞市上善真空设备有限公司集生产销售、安装设计、维修保养真空设备、真空氦检漏仪及通用机械设备、精密机械及自动化设备等产品的企业。公司主要销售及维修真空泵品牌有：上善系列单双级真空泵、上善螺杆及罗茨真空泵、德国LEYB0LD真空泵、德国BUSCH真空泵、德国RIETSCHLE里其乐真空泵、德国BECKER贝克真空泵、英国EDWARDS真空泵、日本ULVAC爱发科真空泵、德PFEIFFER普发真空泵、日本ORION真空泵、ATLAS阿*真空泵、美国AGILENT安捷伦真空泵等进口真空泵及真空系统。销售真空泵配件：真空泵油、油雾分离器、排气过滤器、叶片、碳精片、油过滤器、进气滤芯、空气总成、散热风扇、风扇叶、风扇罩、真空泵油管、油封、轴承、轴套、排气阀、逆止阀、气镇阀、视油镜、密封套件、联轴器、联轴器垫等配件材。 同时公司还经营电子材料：厌氧胶、SMT贴片胶、底部填充胶、COB灌封胶、LED固晶胶、陶瓷线路板灌封胶等。
