plusSL10.100直流电源
直流稳压电源是一种将220V工频交流电转换成稳压输出的直流电压的装置,它需要经过变压、整流、滤波、稳压四个环节才能完成
plusSL10.100直流电源
Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术,Pinnacle Plus 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比,沉积率更高,重复性能更好,薄膜质量更为优异。优势:
更高的沉积率与产品率
薄膜均匀性和品质
成弧造成的基材损坏减少
成本更低
系统整合容易
的工艺灵活性和宽容度
重复性能
在过度曲线上运行稳定
吞吐量更高
一个紧凑型封装
频率调节范围为 5-350kHz
占空比大
电压范围宽——单输出宽阻抗范围
大功率运行
基材温度低
单输出(5kW 和 10kW 型号)
用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号)
反应性溅射闭环控制规格:
输出功率:5KW单输出、5KW双输出、10KW单输出
电压范围:325-650VDC,可选325-800VDC输出(宽Z)
输出功率接头:五个终端、DIN压缩接头;最大电线尺寸:#6 AWG
输出接头:两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或UHF接头
最大电流:
15.4ADC;15.4ADC/输出;30.8ADC
频率:5到350KHz,可变
反向电压:工作电压的0.1
点火功能:最大1500VDC,正常1350VDC
调节模式:功率、电压或电流
交流线电压:200/208、400或480VAC
电流:5KW:200/208VAC:标称值17A/Φ
400VAC:标称值8.5A/Φ
480VAC:标称值7.5A/Φ
5KW双输出/10KW单输出200/208VAC:标称值35A/Φ
400VAC:标称值17A/Φ
480VAC:标称值15A/Φ
直流稳压电源是一种将220V工频交流电转换成稳压输出的直流电压的装置,它需要经过变压、整流、滤波、稳压四个环节才能完成。 四个环节的工作原理如下:
(1)电源变压器:是降压变压器,它将电网220V交流电压变换成符合需要的交流电压,并送给整流电路,变压器的变比由变压器的副边电压确定。
(2)整流滤波电路:整流电路将交流电压Ui变换成脉动的直流电压。再经滤波电路滤除较大的纹波成分,输出纹波较小的直流电压U1。常用的整流滤波电路有全波整流滤波、桥式整流滤波等。
(3)滤波电路:可以将整流电路输出电压中的交流成分大部分加以滤除,从而得到比较平滑的直流电压各滤波电容C满足RL-C=(3~5)T/2,或中T为输入交流信号周期,RL为整流滤波电路的等效负载电阻。
(4)稳压电路:稳压电路的功能是使输出的直流电压稳定,不随交流电网电压和负载的变化而变化。常用的集成稳压器有固定式三端稳压器与可调式三端稳压器。常用可调式正压集成稳压器有CW317(LM317)系列,它们的输出电压从1.25V-37伏可调,最简的电路外接元件只需一个固定电阻和一只电位器。
plusSL10.100直流电源