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| 产地类别 | 进口 |
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INFICON晶体12传感器与INFICON IC 6薄膜沉积控制器结合使用时，可自动更换其晶体，而无需中断过程。晶体不稳定或失效时，IC6会立即向晶体12传感器旋转传送带发送信号，要求其立即将新晶体旋转到位，从而实现持续沉积速率监控。
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INFICONCrystal12®传感器 INFICONCrystal12®传感器 INFICONCrystal12®传感器
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装有12颗晶体,可进行可靠的自动转换,从而大限度延长过程运行时间 易于拆卸的旋转传送带允许快速更换所有12颗晶体 晶体转换由空气驱动完成(竞争产品是使用生热电机),因而晶体温度非常稳定 易于拆卸的前沉积罩保护晶体和旋转传送带上不会积存材料,从而大限度减少拆卸整个传感器以进行维护的必要性 可选安装后套件允许用户根据公制硬件大小自行修改