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INFICONRFS100射频传感器

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  • 型号 RFS100
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  • 厂商性质 代理商
  • 所在地 上海市
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更新时间:2019-05-15 09:38:01浏览次数:294

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产品简介

产地类别 进口
INFICONRFS100射频传感器
INFICON 射频传感技术能够为半导体过程工具提供高度准确、宽频、频率判别式射频测量。通过此射频数据,可以详细了解过程开发和生产过程问题中的实际等离子状态,大幅降低过程变异性。

详细介绍

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通过测量基本和谐波电压和电流(包括相角测量)并对其进行分析来预测晶片计量结果,这样工程师就能控制所处理的每个晶片的实际晶片结果 现在强大算法性能与射频传感技术*结合,可以基于实时测量以及易于理解的用户界面所提供的相关性分析,显著提高半导过程的可重复性 稳定性和准确性

公司经营品牌:GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E+E,美国华瑞RAE,梅思安MSA,德尔格Draeger,德国IKA,美国奥豪斯,美国哈希hach,安捷伦等品牌,派克Parker,阿托Atos,力士乐Rexroth,哈威Hawe,德国KK,英国Time Electronics,美国斯坦福,英国密其,德国LR-Cal,德国Schleich,澳大利TPS,德国卡尔德意志等进口品牌

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