GXS450爱德华螺杆泵维修 返回列表页

东莞市揖电真空机电专业GXS450爱德华螺杆泵维修，爱德华GXS450螺杆泵在（颗粒，腐蚀物）环境下有着高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大气压和极限压力之间，无需润滑，这样就确保了油不会被反抽到系统中。IH600系统有一个HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系统适用于无风冷电机的洁净环境中。IH600干泵系统还拥有运送清洁气体进入HCDP泵的气体系统，适用于制程物严重的工艺中。使用在较低要求的工艺下可共同改变气体排放模式改变N2消耗量。通过显示终端可手动控制真空系统。另外，可以通过接口模块或即时通讯模块或IH单设备监控器使用其他控制设备去操作IH干泵系统。 半导体晶圆厂的应用包括： LOADLOC 传送 测量 光刻 物理气相沉积工艺 物理气相沉积预清洁 快速热退火 去胶 蚀刻 高密度等离子化学气相沉积 高密度等离子体化学气相沉积快速热处理 大气化学气相沉积sacvd 钨化学气相沉积等离子体增强化学气相沉积 低压化学气相淀积。

GX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX1000N干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

GXS450爱德华螺杆泵维修功能及优势：低运行成本与 iL/iH 干泵相比，设施成本最多可降低 50%，无需预防性维护，灵活的安装选项小巧轻便，便于安装，工具上近程或远程可以改进工具吞吐量。

可用的快的负载锁定泵全程一致的泵送性能，在 50 和 60 Hz 下抽速相同，降低了环境噪音仅 55 dB(A)。