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| 产地类别 | 国产 | 加热方式 | 电阻丝 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 控温精度 | ±1℃ |
| 内部尺寸 | Φ80*220mmmm | 升温速度（达到最高温） | ≤10℃//min |
| 仪器种类 | 管式炉 | 应用领域 | 化工,能源,电子,冶金,综合 |
| 最大功率 | 3KkW | 最高温度 | 1200℃ |
与传统CVD相比较.生长温度更低
产品简介
详细介绍
单温区PE-CVD系统
特点：高性能射频电源.等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区.并可实现快速升温和降温功能；
单温区PE-CVD系统与传统CVD相比较.生长温度更低
技术参数
项目 | 型号 | TFE - 1200 - 50 - 220 单温区PE-CVD系统 |
可达温度 | 1150℃（短期） | |
额定温度 | 1100℃ | |
推荐升温速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
炉管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
炉膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加热区长度 | 220mm | |
恒温区长度 | 80mm | |
加热元件 | 优质国产电阻丝 | |
额定功率 | 3KW | |
供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
射频电源 | 射频功：5-500W；射频频：13.56MHz；匹配方式：自动匹配 | |
真空系统 | 双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等） | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
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