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forma 300SA是一种用于半导体和半绝缘材料的台式/台式半自动化晶圆测量系统。基于MTII独有的推拉电容技术,Proforma 300SA对晶圆片表面进行厚度、厚度变化、弯曲、翘曲、sori、位置和整体平整度的全扫描。用户定义和ASTM/SEMI兼容扫描模式用于生成完整的三维(3D)晶圆图像。forma 300SA是一种用于半导体和半绝缘材料的台式/台式半自动化晶圆测量系统。基于MTII独有的推拉电容技术,Proforma 300SA对晶圆片表面进行厚度、厚度变化、弯曲、翘曲、sori、位置和整体平整度的全扫描。用户定义和ASTM/SEMI兼容扫描模式用于生成完整的三维(3D)晶圆图像forma 300SA是一种用于半导体和半绝缘材料的台式/台式半自动化晶圆测量系统。基于MTII独有的推拉电容技术,Proforma 300SA对晶圆片表面进行厚度、厚度变化、弯曲、翘曲、sori、位置和整体平整度的全扫描。用户定义和ASTM/SEMI兼容扫描模式用于生成完整的三维(3D)晶圆图像