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详细摘要： 日本CKD喜开理小型流量传感器*1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。行业保护气体半导体制造工序（后工序）氮气清洗关联元件

详细摘要： 日本CKD喜开理小型流量传感器*CKD小型流量传感器感应电压信号与平均流速呈线性关系，因此测量精度高。测量管道内无阻流件，因此没有附加的压力损失