详细摘要： 单晶硅压力变送器芯片采用超高纯度单晶硅材质，其材质特性优于市场上通用的复合硅、扩散硅材料，芯片采用德国的单晶硅双梁悬浮式技术，结合了硅压阻与硅谐振技术双方特点，...