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INSTEC XYZ模块化高温探针台 HCP1000V-MPS
INSTEC XYZ模块化变温探针台 HCP421V-MPS
INSTEC 半导体冷热台 TS102GXY TS102VXY
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气,综合 |
mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备
可编程控温，涵盖RT~1000℃
适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件
可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针
可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK
模块化设计，可自由组合
| 温度范围 | 30℃~1000℃ |
| 加热块材质 | 陶瓷 |
| 传感器/温控方式 | 最大升温速率 S / PID控制（含LVDC降噪电源） |
| 最大升温速率 | 50℃/min |
| 最小温控速度 | ±0.1℃/min |
| 温度分辨率 | 0.1℃ |
| 温度稳定性 | ±0.5℃ |
| 软件功能 | 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
| 探针 | 默认为铼钨材质的弯针探针 |
| 探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 |
| 点针 | 从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
| 探针接口 | 默认为SMA接头转BNC *可增设腔内接线柱（样品接电引线） |
| 样品台面电位 | 默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口 |
| 适用光路 | 反射光路 |
| 窗片 | 可拆卸与更替的窗片 |
| 最小物镜工作距离 | 8/12 mm （可选） *截面图中WD |
| 上盖窗片观察 | 窗片范围φ45mm，最大视角±58° *截面图中θ1 |
| 负温下窗片除霜 | 吹气除霜管路 |
| 适用样品 | 25 mm*25mm |
| 样品腔高 | 4/8 mm （可选） |
| 探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式，XY粗调20mm |
| 调节精度 | 10um |
| 气氛控制 | 真空腔，也可充入保护气体 |
| 外壳冷却 | 可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 |
| 台体尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg |
基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器
可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
| TP102V-MPS | 温度范围 -40℃ ~ 180℃，样品区,40mm*40mm |
| HCP421V-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区Φ26mm |
| HCP402V-MPS | 温度范围 -190℃ ~ 400℃，样品区 50mm*50mm |
| HP1000V-MPS | 温度范围 35℃ ~ 1000℃，样品区 25mm*25mm,真空腔室 |
| 定制型号 | 按客户需求定制，最大适用300mm晶圆样品 |
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