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当前位置：广州领拓仪器科技有限公司>>泽攸科技扫描电镜&台阶仪>>台阶仪>> 全自动台阶仪 JS2000B
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 建材/家具,电子/电池,汽车及零部件,电气,综合 |
• 产品介绍
泽攸科技JS系列台阶仪作为国产高精度表面测量设备的代表，凭借其创新的技术架构、灵活的应用场景及可靠的测量性能，可以对微纳结构进行膜厚和台阶高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，在高校、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域有着广泛应用。
JS系列台阶仪通过金刚石探针与样品表面的接触扫描，将微观轮廓的垂直位移转化为电信号，结合高灵敏度传感器与信号处理算法，实现纳米级精度的表面特征捕捉。其核心技术亮点在于超微压力恒定控制系统，通过精密调节探针与样品间的接触压力，既避免了对软质材料的损伤，又确保了测量过程的稳定性。此外，设备搭载的摄像头实时成像系统，可同步观察样品区域与探针尖的位置关系，辅助用户精确定位特征结构，显著提升测量效率。
作为国产科学仪器的突破性成果，JS系列台阶仪打破了国外品牌在表面测量设备领域的长期垄断，凭借高性价比与本地化服务优势，成为国内高校、科研机构及制造企业的优选设备。
• 特点
量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、高性价比
• 应用范围
▲ 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
▲ 各式薄膜等应力测量
▲ 3D扫描成像
▲ 计划任务和多点扫描
▲ 批量测试晶圆，批量处理数据等
▲ EFEM（SMIF+ROBOT+ALINGER)
▲ JS200B
▲ 高度校准标样
▲ FFU模块
▲ 静电消除模块
▲ E84接口
• 技术参数
JS2000B | |
台阶高度最大范围 | ≤80um |
台阶高度重复性 | ≤0.5nm |
垂直分辨率 | 0.05nm |
探针加力范围 | 0.5mg~50mg |
单次扫描长度 | ≤55mm |
晶圆尺寸 | 可兼容6寸、8寸Wafer |
晶圆厚度 | ≤10mm |
晶圆材质 | 硅、钽酸锂、玻璃等(不透明，半透明，透明) |
图像识别系统精度 | 定位精度优于±10um |
机械动作稳定性 | 马拉松传送测试>500片 |
生产效率 | WPH≥10片(单面量测≥5个位置) |
台阶高度最大范围 | ≤80um |
标准探针 | 曲率半径≥2um角度60°(标配) |
亚微米探针 | 曲率半径≤1um角度60°(选配) |
软件功能 | 数据处理：台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量; |
应力测试和3D扫描成像 | |
数据通讯：SECS通讯接口 | |
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