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氦质谱检漏仪基本检测方法如下：喷氦法，真空氦罩法，吸枪法，钢瓶法，真空容器法，并列排气法等。
岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU，采用专用的分流泵及中间排气系统，实现了的低BG恢复性能和操作性。
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