真空旋转涂膜机

1、引言

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

2、主要技术指标

电机功率：350W

电源：AC220V 50Hz

速度范围：500rpm-10000rpm

程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段

增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s

时间范围：0-60s

吸盘：Ø19mm、Ø60mm

本机可选配加热功能：加温范围RT-150℃； 加热盖，水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟；温度单独控制，与主机程序控制无关联；

尺寸：450mm×280mm×340mm

重量：20kg

VTC-100PA真空旋转涂膜机的主要特点包括：

1. 真空吸附方式固定样件，操作简便

2. 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片

3. 根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单

4. 设有12组程序，每组包含6个运行阶段

5. 电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性

6. 真空度最大可以达到-0.08MPa

7. 本机可选配加热功能：加温范围RT-150℃

VTC-100PA真空旋转涂膜机的技术参数如下

1. 电机功率：350W。

2. 速度范围：500rpm-10000rpm。

3. 程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段。

4. 增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s。

5. 时间范围：0-60s。

6. 吸盘：Ø19mm、Ø60mm。