通过将电子扫描方式的ES5100系列组合到以高分辨率和操作性受到好评的FineSAT中，追加了高速检查功能的混合型装置。
以前，为了调查在高速检查中发现的异常的详情，需要把被检体转移到其他装置重新测量，但在FineSAT Hybrid上，不用进行转移被检体的作业，用1台设备就可进行异常解析。
可在短时间内提高产线产量。
除了标准型之外，还有可同时测量大型样品和多个样品的长行程宽体产品。

 ■ 双测头
可以同时安装高精细测定的单焦点探头和高速测定的电子扫描方式的阵列探头。
单焦点探头/阵列探头的切换可以通过鼠标操作在探头选择画面上切换。
■ 高速
与使用单焦点测头相比，使用阵列探头能以约3～10倍(*)的速度显示图像。
(*:本公司比较，根据测定条件)
■ 组合
请在购买前从25、50、75MHz中选定阵列探头。单焦点探头根据机型不同，可以使用5～300MHz的探头。
通过阵列探头进行高速测定后，通过用单探头测定担心的部分、用高精细的图像进行解析评价等方法提高业务的效率。

规格