目录:郑州成越科学仪器有限公司>>磁控溅射镀膜仪>> CY-MSZ180-I-DC-SS单靶磁控光纤绕丝溅射镀膜仪
单靶磁控光纤绕丝溅射镀膜仪,专用于光纤制备薄膜,采用不锈钢高真空腔体,配有带挡板的观察窗,可以观察镀膜过程,挡板则能有效防止观察窗被膜层遮蔽,便于实验的观察记录。腔体上顶开式设计开启方便,易于清理,十分适合实验室使用。整机采用模块化设计,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手.
产品型号 | CY-MSZ180-I-DC-SS | |
供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 2kw | |
绕丝机构 | 尺寸 | Φ15mmx245mm |
绕丝速度 | 1-300r/min | |
磁控溅射头 | 数量 | 2 英寸x1 |
冷却方式 | 水冷 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ213mm X 307mm |
观察窗口 | φ80mm | |
开启方式 | 上顶开式、左侧开式 | |
腔体材料 | 不锈钢 304 | |
电源配置 | 直流电源数量 | 1 台 |
输出功率 | ≤300W | |
匹配方式 | 自动匹配 | |
水冷系统 | 水箱容积 | 9L |
流量 | 10L/min | |
供气系统 | 类型 | 手动微量调节阀 |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 |
抽速 | 1.1L/s | |
次级泵 | 涡轮分子泵 | |
抽速 | 60L/s | |
抽气口 | ISO63 | |
出气口 | KF16 | |
真空计 | 复合真空计 |