目录:郑州成越科学仪器有限公司>>CVD气相沉积系统>> CY-CVD1200-50-220×220-4TH-Q全自动CVD滑轨炉
全自动CVD滑轨炉设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。
适用于高校、科研院所、工矿企业做石墨烯的生长、高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火,尤其适合需要快速升降温的CVD试验。
全自动CVD滑轨炉技术参数:
项目 | 明细 |
供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 5KW |
工作温度 | ≤1100℃ |
加热速率 | 建议10℃/min |
炉管尺寸 | O.D.50mm-220mm-220mm(加热区)-1200mm管长 |
控温精度 | 0.1℃ |
温区 | 双温区 |
混气系统 | 4路质子流量计:100sccm1个;200sccm1个;500sccm2个 |
真空泵 | 双极旋片真空泵 |