目录:郑州成越科学仪器有限公司>>磁控溅射镀膜仪>> CY-MSH325X-III-DCDCRF-SS三英寸三靶磁控溅射镀膜仪
镀膜仪配有两路高精度质量流量计，客户若另有需求可以定制至多四路质量流量计的气路，以满足复杂的气体环境构建需求；仪器标配的涡轮分子泵组，极限真空可达1.0E-5Pa，同时另有其他类型的分子泵可供选购。分子泵的气路由多个电磁阀控制，可以实现在不关泵的情况下打开腔体取出样品，大大提高了您的工作效率。本产品可以选配一体机工控电脑对系统进行控制，在电脑程序上可以实现真空泵组的控制、溅射电源的控制等绝大多数功能，可以进一步提高您的实验效率。
| 项目 | 明细 | |
| 产品型号 | CY-MSH325X-III-DCDCRF-SS | |
| 供电电压 | AC220V，50Hz | |
| 整机功率 | 6KW | |
| 系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
| 样品台 | 外形尺寸 | φ150mm |
| 加热温度 | ≦750℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 可调转速 | ≦20rpm | |
| 磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm，厚度≦3mm |
| 冷却模式 | 循环水冷 | |
| 水流大小 | 不小于10L/Min | |
| 靶枪数量 | 3 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ325mm，高度600mm |
| 腔体材质 | SUU304不锈钢 | |
| 观察窗口 | 直径φ100mm | |
| 开启方式 | 前面开启 | |
| 气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM | |
| 真空系统 | 配分子泵系统1套，气体抽速600L/S | |
| 膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å | |
| 溅射电源 | 直流电源功率500W*2，射频电源功率300Ｗ | |
| 控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
| 真空计 | 电阻规真空计 | |
| 设备尺寸 | 1090mm×900mm×1250mm | |
| 设备重量 | 350kg | |
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