目录:郑州成越科学仪器有限公司>>磁控溅射镀膜仪>> CY-MSZ180-50X-I-DC-Q行星式单靶磁控镀膜仪
本设备为桌面型行星式单靶磁控镀膜仪，腔体下半部为不锈钢机构，上部为高纯石英，兼顾了真空性能和容纳复杂样品台的功能型。设备外形为桌面级别，大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源，可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组，抽气速度快，极限真空度高，真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用，非常适合用于各类镀膜试验。
| 产品名称 | 行星式单靶磁控镀膜仪 | |
| 产品型号 | CY-MSZ180-50X-I-DC-Q | |
| 样品台 | 外形尺寸 | φ50mm |
| 加热温度 | ≦500℃ | |
| 可调转速 | ≦20rpm | |
| 磁控靶枪 | 配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X100mm |
| 观察窗口 | 全向透明 | |
| 腔体材料 | 高纯石英 | |
| 开启方式 | 上盖拆卸式 | |
| 真空系统 | 前级泵 | 低噪音双极旋片泵 |
| 分子泵 | 低噪音大抽速涡轮分子泵 | |
| 真空测量 | 复合真空计，量程:10-5~105Pa | |
| 抽气接口 | KF16 | |
| 抽气接口 | KF40 | |
| 排气接口 | KF16 | |
| 系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
| 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽气速率 | 分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s | |
| 电源配置 | 电源数量 | 直流电源一套 |
| 输出功率 | 500W | |
|
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
| 整机功率 | 2kW | |
| 整机尺寸 | 550mm X 350mm X400mm | |
1
化工仪器网