目录:郑州成越科学仪器有限公司>>磁控溅射镀膜仪>> CY-MSZ180-I-RF-SS桌面型射频磁控溅射镀膜仪
本设备为射频磁控溅射镀膜仪，可用于金属薄膜的制备，在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用，也可实验室SEM样品制备。本型号配备射频电源，尤其适合非金属或其他非导电材料镀膜。
本套配置采用高真空不锈钢腔体，腔体设置带挡板的石英观察窗，便于实验的观察记录；腔体设计真空性能优良，造型小巧，十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台，可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手。
产品名称 桌面型射频磁控溅射镀膜仪 产品型号 CY-MSZ180-I-RF-SS 样品台 外形尺寸 φ100mm 加热温度 ≦500℃ 可调转速 ≦20rpm 磁控靶枪 配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm 真空腔体 腔体尺寸 φ180mm X 215mm 观察窗口 全向透明 腔体材料 SUU304不锈钢 开启方式 上盖拆卸式 真空系统 前级泵 低噪音双极旋片泵 分子泵 低噪音大抽速涡轮分子泵 真空测量 复合真空计，量程:10-5~105Pa 抽气接口 KF16 抽气接口 KF40 排气接口 KF16 系统真空 1.0×10-4Pa 供电电源 AC 220V 50/60Hz 抽气速率 分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s 电源配置 电源数量 射频电源一套 输出功率 300W 其他参数 供电电压 AC220V,50Hz 整机功率 2kW 整机尺寸 600mm×650mm×750mm
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