目录:郑州成越科学仪器有限公司>>磁控溅射镀膜仪>> CY-MSZ180X-I-DC-SS桌面型下置靶不锈钢腔体单靶磁控溅射镀膜仪
本设备为桌面型下置靶不锈钢腔体单靶磁控溅射镀膜仪，可用于金属薄膜的制备，在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用，也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用高真空不锈钢腔体，腔体设置带挡板的石英观察窗，便于实验的观察记录；腔体设计真空性能优良，造型小巧，十分适合实验室使用。
设备采用下置靶设计，和上置靶相比这种设计能够更好的规避屏蔽罩因长时间镀膜而产生的薄膜碎片脱落的问题，可以更有效的保护样品。
同时设备配有旋转加热样品台，可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手。
| 产品名称 | 桌面型下置靶不锈钢腔体单靶磁控溅射镀膜仪 | |
| 产品型号 | CY-MSZ180X-I-DC-SS | |
| 样品台 | 外形尺寸 | φ100mm |
| 加热温度 | ≦500℃ | |
| 可调转速 | ≦20rpm | |
| 磁控靶枪 | 配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50.8mm，厚度≦3mm | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 215mm |
| 观察窗口 | 全向透明 | |
| 腔体材料 | SUU304不锈钢 | |
| 开启方式 | 上顶开式 | |
| 真空系统 | 前级泵 | 低噪音双极旋片泵 |
| 分子泵 | 低噪音大抽速涡轮分子泵 | |
| 真空测量 | 复合真空计，量程:10-5~105Pa | |
| 抽气接口 | KF16 | |
| 抽气接口 | KF40 | |
| 排气接口 | KF16 | |
| 系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
| 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽气速率 | 分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s | |
| 电源配置 | 电源数量 | 直流电源一套 |
| 输出功率 | 300W | |
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其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
| 整机功率 | 2kW | |
| 整机尺寸 | 550mm X 350mm X400mm | |
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