项目

明细

产品型号

CY-MSH325G-II-DCDC-SS

供电电压

AC220V，50Hz

整机功率

6.5KW

系统真空

≦5×10^-4Pa

样品台

外形尺寸

φ150mm

加热温度

≦500℃

控温精度

±1℃

可调转速

≦20rpm

磁控靶枪

靶材尺寸

直径Φ50.8mm，厚度≦3mm

冷却模式

循环水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔体

腔体尺寸

直径φ325mm，高度500mm

腔体材质

SUU304不锈钢

观察窗口

直径φ100mm

过渡腔体

150x150x150mm

开启方式

顶开式

气体控制

1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM

真空系统

配分子泵系统1套，气体抽速600L/S

膜厚测量

可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å

溅射电源

配直流电源500W*2

控制系统

CYKY自研专业级控制系统

设备尺寸

1200mm×1200mm×2000mm

设备重量

450kg