项目

明细

产品型号

CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS

供电电压

AC220V，50Hz

整机功率

6KW

系统真空

≦5×10^-4Pa

样品台

外形尺寸

φ150mm

加热温度

≦700℃

控温精度

±1℃

可调转速

≦40rpm

磁控靶枪

靶材尺寸

直径Φ50.8mm，厚度≦3mm

冷却模式

循环水冷

水流大小

不小于10L/Min

真空腔体

腔体尺寸

直径φ325mm，高度385mm

腔体材质

SUU304不锈钢

观察窗口

直径φ100mm

开启方式

顶开式

气体控制

1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM

真空系统

配分子泵系统1套，气体抽速600L/S

膜厚测量

可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å

溅射电源

配射频溅射电源,功率500W*3

控制系统

CYKY自研专业级控制系统

UPS

20KVA 16KW，延迟1小时

16节电池，容量38AH

设备尺寸

1090mm×900mm×1250mm

设备重量

350kg