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1200℃三温区3路浮子供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
系统所配有的三路浮子流量计，可以较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。
技术参数：
真 空 管 式 炉 产品型号 CY-O1200-50IIIT 炉管材质 高纯石英 炉管直径 50mm（可选配60mm、80mm、100mm） 炉管长度 1300mm 炉膛长度 1060mm 加热区长 300mm+300mm+300mm 工作温度 0～1100℃ 控温精度 ±1℃ 控温模式 30段或50段程序控温 显示模式 LCD 密封方式 304不锈钢真空法兰 法兰接口 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 可抽真空 4.4E-3Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz 供 气 系 统 产品型号 CY-3F 气体通道 3通道 测量部件 气体浮子流量计 测量量程 A通道：0～100ml/min H2气 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 B通道：16～160ml/min N2气 C通道：25～250ml/min Ar气 测量精度 ±2.0% 管道耐压 3MPa 工作压差 50～300KPa 连接管道 304不锈钢 控制阀门 304不锈钢针阀 接口规格 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 排 气 系 统 机械泵 旋片泵 抽气速率 1.1L/S 排气接口 KF16 真空测量 电阻规 极限真空 1.0E-1Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz 抽气接口 KF16
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