目录:郑州成越科学仪器有限公司>>CVD气相沉积系统>> CY-CVD1500-60-300-3TH-Q1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统
1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。
炉管采用高纯氧化铝制成，炉体采用一体式设计，的设计能够保证系统在1500℃运行稳定**，加热元件采用高品质硅碳棒，能够达到1500℃高温，若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。
系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。
技术参数：
| 真 空 管 式 炉 | 产品型号 | CY-CVD1500-60-300-3TH-Q | |
| 炉管材质 | 高纯氧化铝 | ||
| 炉管直径 | 60mm(可选配50mm、80mm、100mm) | ||
| 炉管长度 | 1000mm | ||
| 炉膛长度 | 400mm | ||
| 加热区长 | 300mm | ||
| 恒温区长 | 150mm | ||
| 工作温度 | ≤1450℃ | ||
| 控温精度 | ±1℃ | ||
| 控温模式 | 30段或50段程序控温 | ||
| 显示模式 | LCD | ||
| 密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | ||
| 法兰接口 | 1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 | ||
| 可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 供 气 系 统 | 产品型号 | CY-3F | |
| 气体通道 | 3通道 | ||
| 测量部件 | 气体浮子流量计 | ||
| 测量量程 | A通道：0～100ml/min H2气 | 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
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| B通道：16～160ml/min N2气 | |||
| C通道：25～250ml/min Ar气 | |||
| 测量精度 | ±2.0% | ||
| 管道耐压 | 3MPa | ||
| 工作压差 | 50～300KPa | ||
| 连接管道 | 304不锈钢 | ||
| 控制阀门 | 304不锈钢针阀 | ||
| 接口规格 | 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 | ||
| 排 气 系 统 | 机械泵 | 旋片泵 | |
| 抽气速率 | 1.1L/S | ||
| 排气接口 | KF16 | ||
| 真空测量 | 电阻规 | ||
| 极限真空 | 1.0E-1Pa | ||
| 供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
| 抽气接口 | KF16 | ||
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