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| 应用领域 | 综合 |
|---|
应用于IGS的高纯度金属隔膜阀，采用二次熔炼的SUS316L作为阀体材质，有多种接口（C-seal和W-seal）可供选择。
产品简介
详细介绍
IGS金属隔膜阀优势：
• 适合高纯度工艺供气生产线
• 阀体材质选用二次熔炼的SUS316L，安全可靠
• W-seal和C-seal 可供选择
IGS金属隔膜阀技术参数：
尺寸 | SEMI F83-0304 | SEMI F84-0304 | SEMI F86-0304 |
Cv value( Cv值) | 0.24 | 0.24 | 0.27 |
大使用压力 | 1.0MPa(G) | ||
使用温度范围 | -10～80℃ | ||
外部泄露 | ≦3x10-12 Pa・m3/sec Helium | ||
阀座泄露 | ≦3x10-10 Pa・m3/sec Helium | ||
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