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产品简介
详细介绍
D07-15气体质量流量控制器 产品简介：
★高稳流型
★小体积，低波动
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用P20金手指插头
D07-15气体质量流量控制器用途:
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-15气体质量流量控制器技术参数：
| 产品型号 | D07-15 |
| 产品类型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm |
| 产品精度 | ±1％F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 响应时间 | ≤4sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | 常闭 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | P20 Card Edge |
| 工作压差范围 | (0.1～0.3) MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套Φ6,双卡套Φ3,VCR1/4”,双卡套1/4” |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | - 无 - |
| 重量 | 0.85Kg |