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产品简介
详细介绍
D07-19C气体质量流量控制器产品简介：
★高精度，快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，标准机械接头
★兼容
D07-19C气体质量流量控制器用途：
用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-19C气体质量流量控制器详细参数：
| 产品型号 | D07-19C |
| 产品类型 | 高精度型,快响应型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm |
| 产品精度 | ±1％F.S.(20slm ±2％F.S.) |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.) |
| 响应时间 | ≤1.5sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | - 无 - |
| 温度系数 | Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Male |
| 工作压差范围 | (0.1～0.5) MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 1.2Kg |